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台式匀胶机科普——许昌学院“玄之又玄”实践队科普系列

来源:许昌学院玄之又玄暑期社会实践队 作者:赵帅

7月11日,许昌学院“玄之又玄”玄武岩纤维表面处理及改性实践队与新材料与能源学院表面微纳米材料研究所进行实验仪器的学习,如下为介绍内容:

匀胶机有很多称谓,英文名叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转薄膜机、旋转涂覆机、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说他们原理都是一样的,及在高温旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂抹在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

匀胶机使用注意事项:

1、所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞。2、 如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。3、气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。

匀胶机操作说明:

1、打开匀胶机电源和吸气泵电源。2、设置匀胶转数和旋涂转数。3、在转盘上放置旋涂样品,表面滴上光刻胶。4、按下“吸片”按钮。5、按下“启动”按钮。6、等待旋涂完成。7、弹起“吸片”按钮,取下样品。

供稿人:赵帅

2019年7月11日

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